标准列表
硅多晶真空区熔基硼检验方法
关键词:GB/T 4060-2007
摘 要:
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。
硅多晶气氛区熔基磷检验方法
关键词:GB/T 4059-2007
摘 要:
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
关键词:GB/T 4058-2009
摘 要:
本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。
本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。
硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。
红色合成刚玉
关键词:GB/T 4051-2013
摘 要: